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蒸銻臺倍增級磁控鍍膜機
倍增級磁控鍍膜機主要應用于光電倍增管倍增級表面的銻膜鍍制。在膜層制備過程中可實現對光電倍增管的倍增級基底進行烘烤除氣、離子轟擊清潔、膜層沉積和偏電壓輔助、膜厚工藝測試等功能,可進行數字化編程、程序控制和動態監測,能夠實時顯示、記錄、統計、計算、保存、輸出各種運行數據,達到精確控制膜厚和沉積均勻性的要求。
MPO專用遮光膜鍍膜設備
該設備為高真空電子束蒸鍍設備,即利用高能量密度的電子束轟擊被鍍材料,使其氣化并沉積在基片表面;此設備為在石英或其它材料表面沉積鎳鉻合金或其它單金屬、合金;設備由立式前開門水冷真空室、真空系統、工裝系統、電子束沉積系統、離子轟擊系統、加熱系統、測量及監控系統、電控系統、輔助系統(機架、工藝氣路、壓空氣路、冷卻水路、附件)等組成。
多工位真空鍍膜及封接檢測設備
設備可完成光電倍增管高溫真空除氣、陰極激活、陰極轉移、MCP清刷、銦封等多道關鍵制備工序,是多種運動方式同時存在的復雜系統。主要應用于中微子探測試驗、高能物理探測和單光子探測領域。
倍增級磁控鍍膜機
倍增級磁控鍍膜機主要應用于光電倍增管倍增級表面的銻膜鍍制。在膜層制備過程中可實現對光電倍增管的倍增級基底進行烘烤除氣、離子轟擊清潔、膜層沉積和偏電壓輔助、膜厚工藝測試等功能,可進行數字化編程、程序控制和動態監測,能夠實時顯示、記錄、統計、計算、保存、輸出各種運行數據,達到精確控制膜厚和沉積均勻性的要求。
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熱真空環模系統用于在地面模擬太空中的“冷黑背景”及“高真空環境”,進行各類航空航天產品在地面開展熱真空、熱平衡、低氣壓、放電、長壽命等試驗。具有真空度高、控溫精度高、自動化程度高、運行穩定可靠等特點。
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高壓直流繼電器排氣臺
該系統主要用于高壓直流繼電器系列產品部件進行抽真空、檢漏、充氣、封口。本設備為直流高壓繼電器高真空排氣臺,由分子泵作為抽氣主泵,帶2或5個工位排氣嘴,工位可單個或任意多個工位組合工作。運行過程實現自動化,包括:人工放置繼電器,鎖緊密封、預抽、高真空排氣、充氣檢漏、封口再檢漏等步序。
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